一种新型晶圆载片台结构

本实用新型公开了一种新型晶圆载片台结构，包括装置本体，所述装置本体包括主载片台和辅助载片台，所述主载片台和辅助载片台均为平滑过渡且一体加工成型结构，所述主载片台位于辅助载片台内侧；所述主载片台呈圆形状结构，所述主载片台表面开设有若干组呈环状等距方式分布的芯片固定孔，所述芯片固定孔呈圆形结构，所述主载片台表面开设有吸附固定孔，所述吸附固定孔设有三个，三个所述吸附固定孔呈三角方式分布。该种装置可以通过主载片台保证了晶圆的整体状态，同时辅助载片台保证了晶圆能很好的吸附在载片台表面，进一步提高了对晶圆整体固定的紧密性和牢固性。