体声波滤波器形成方法

本发明公开一种体声波滤波器形成方法，包括：在临时衬底晶圆表面形成压电叠层，压电叠层包括上电极调频层、压电层和下电极层，所述上电极调频层和下电极层分别位于压电层相对的表面；将器件晶圆的正面与下电极层键合，并封闭第一空腔；去除临时衬底晶圆，暴露压电层；将上电极调频层均匀划分为N个区域，在N个区域中每个区域最少选取一个点作为测量点；对上电极调频层进行第一离子束轰击，形成第一上电极调频层；根据不同测量点的轰击速率和上电极调频层的目标厚度，调整每个区域的轰击时间，对第一电极上电极调频层进行第二离子束轰击，形成第二上电极调频层。本发明能够实现提高上电极调频层的均匀性和滤波器的合格率。