一种基于互联气相沉积技术制备复合电极粉末的方法

一种基于互联气相沉积技术制备复合电极粉末的方法，该方法是将离子束溅射沉积和磁控溅射沉积集成在一台镀膜设备，可以在同一设备不同模块镀膜。按照镀膜设计需要，采取合适的薄膜沉积技术，不但可以提高膜层质量，还可以提高镀膜效率，降低镀膜成本。同时，镀膜过程中粉末颗粒处于振动状态，确保磁性粉末颗粒表面溅射薄膜包覆均匀性，厚度可控性；本发明提出采用离子束和磁控溅射沉积互联技术，选用具有较高离子电导率的靶材(如磷酸锂、LiPON、氧化物等)在电极粉末的颗粒表面镀一层离子导体膜，制备离子导体膜均匀包覆的具有分级核壳结构的复合电极材料，改善传统电极材料与电解质之间的固固接触界面问题，有效增大电极颗粒/电解质界面的接触面积，同时分级核壳结构缩短了离子传输路径，有效抑制循环过程中正极的体积膨胀。