一种测量沿壁面热流的平面型热流传感器及其标定方法

本发明公开了一种测量沿壁面热流的平面型热流传感器及其标定方法。薄膜热流传感器由3个铂电阻和1个热电堆组成，热电堆放置在最外侧两个铂电阻之间。传感器的静态特性标定时，提出一种小热流情况下根据热电堆冷热端温差和热电势实现塞贝克系数测量的标定思路。根据标定思路搭建标定装置，设置40℃至100℃的环境温度，同时使用较小功率的激光加载在传感器中心位置，热流沿传感器径向传递。系统稳态时，在热电堆冷热端形成小温差，通过温度差以及对应热电势的输出得到塞贝克系数，并根据不同环境温度得到塞贝克系数随温度的变化关系，实现塞贝克系数的标定。