一种用于液体检测的微流通道声波传感器

本发明涉及一种用于液体检测的微流通道声波传感器，属于微电子声学与声波传感器领域。用于液体检测的微流通道声波传感器包括压电薄膜层，硅（Si）基底层、声波透射阻抗匹配层，布拉格反射层；所述的压电薄膜层的上方设有布拉格反射层；其布拉格反射层上方设有硅（Si）基底层；所述的压电薄膜层的下方设有声波透射阻抗匹配层。本发明的液体传感器使纵波大部分能量进入厚的Si基底中产生驻波谐振而使得Q值显著提高。