[中国实用新型]
CN201820438291.6
售
一种高速旋涂装置
著录项
申请号
CN201820438291.6
申请日
20180329
公开号
CN208177788U
授权公告日
20181204
申请(专利权)人
苏州大学
当前权利人
苏州大学
发明人
胡增荣
詹耀辉
王晓南
吴迪
张成
环鹏程
郭绍雄
地址
215000江苏省苏州市吴中区吴中大道1188号
国省代码
江苏(32)
主分类号
B05C11/08
分类号
B05C11/08
代理机构
苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人
冯瑞
技术关键词
摘要
本实用新型公开了一种高速旋涂装置,包括工作台、主轴、气垫、电机主体和第一、二磁悬浮轴承,所述工作台固定在所述主轴的上端,所述气垫设置在所述工作台的下方且与所述工作台之间留有间隙,所述气垫的上端面上均匀间隔设有若干第一小孔,所述气垫的下端设有接气管,所述电机主体中的转子固定套设在所述主轴的中间部分,所述第一磁悬浮轴承设置在所述气垫和电机主体之间,所述主轴一次从所述第一磁悬浮轴承和电机主体中穿过,所述第二磁悬浮轴承设置在所述主轴的下端部分,所述主轴的下端穿设在所述第二磁悬浮轴承中,所述主轴与所述第一、二磁悬浮轴承之间均留有空隙,该高速旋涂装置能够提高转速,保持稳定性,增加耐久性。
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