[中国实用新型]CN201820438291.6

一种高速旋涂装置

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技术关键词
摘要
本实用新型公开了一种高速旋涂装置,包括工作台、主轴、气垫、电机主体和第一、二磁悬浮轴承,所述工作台固定在所述主轴的上端,所述气垫设置在所述工作台的下方且与所述工作台之间留有间隙,所述气垫的上端面上均匀间隔设有若干第一小孔,所述气垫的下端设有接气管,所述电机主体中的转子固定套设在所述主轴的中间部分,所述第一磁悬浮轴承设置在所述气垫和电机主体之间,所述主轴一次从所述第一磁悬浮轴承和电机主体中穿过,所述第二磁悬浮轴承设置在所述主轴的下端部分,所述主轴的下端穿设在所述第二磁悬浮轴承中,所述主轴与所述第一、二磁悬浮轴承之间均留有空隙,该高速旋涂装置能够提高转速,保持稳定性,增加耐久性。

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