一种高速电力开关器件

本实用新型公开了一种高速电力开关器件，包括控制信号输入端，第一开关连接端、第二开关连接端和高电子迁移率晶体管，高电子迁移率晶体管包括衬底；位于衬底上的半导体层，其中，半导体层包括异质结构，异质界面形成二维电子气，栅区的半导体层上形成有凹槽，且凹槽下方半导体层的厚度大于满足增强型晶体管条件的厚度；位于半导体层上两端的源极和漏极，源极与第一开关连接端电连接，漏极与第二开关连接端电连接；位于凹槽中的第一介质层；位于第一介质层上的浮栅；包覆浮栅和第一介质层的第二介质层；位于第二介质层上的控制栅，控制栅与控制信号输入端电连接。本实用新型采用高电子迁移率晶体管，得到了高性能、低损耗的电力开关器件。