用于激励产生均匀放电高活性等离子体的复合电源装置

本发明公开了一种用于激励产生均匀放电高活性等离子体的复合电源装置，包括高压纳秒脉冲电源、低频交流电源、高通滤波器、低通滤波器和负载；高压纳秒脉冲电源的输出与高通滤波器的一端口连接，高通滤波器的另一端口接到负载两端；低频交流电源的输出与低通滤波器的一端口连接，低通滤波器的另一端口接到负载两端。本发明的复合电源装置将高压纳秒脉冲电源和低压低频交流电源的输出叠加在一起，施加于DBD电极上易于产生均匀放电高活性等离子体，且可防止电源装置被破坏。