基于几何误差修正技术的光轴与物面垂直度检测方法

本发明公开一种基于几何误差修正技术的光轴与物面垂直度检测方法，包括以下步骤：使相机与XY平面相对运动，令相机从零点沿任一坐标轴到达第一成像点；在此点处改变物距、采集图像、选择清晰度评价函数计算图像清晰度函数值，直到图像清晰度函数出现最大值；调整相机位置使其回到零点；使相机与XY平面相对运动，使相机沿同一运动轴从零点到达第二成像点；在此点处改变物距、采集图像，选择清晰度评价函数计算图像清晰度函数值，直到图像清晰度函数出现最大值；计算光轴与物面的垂直度偏差。本发明依据不同成像点的位置关系、各成像点处图像清晰度函数值达到最大时的物距差以及几何误差修正技术实现测量系统光轴与物面垂直度偏差的检测。