[中国发明,中国发明授权]
CN201610098480.9
一种半导体激光器及其制作方法
著录项
申请号
CN201610098480.9
申请日
20160223
公开号
CN105529615A
公开日
20160427
申请(专利权)人
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
当前权利人
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
发明人
佟存柱
王涛
汪丽杰
田思聪
舒世立
张建
王立军
地址
130033吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号
国省代码
吉林(22)
主分类号
H01S5/343
分类号
H01S5/343
H01S5/24
代理机构
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人
王宝筠
技术关键词
摘要
本发明公开了一种半导体激光器及其制作方法,该半导体激光器包括:相对设置的N型电极以及P型电极;设置在所述N型电极与所述P型电极之间的功能层;在第一方向上,所述功能层包括依次设置的衬底、N型包层、N型光限制层、有源区、P型光限制层、P型包层、绝缘层以及P型欧姆接触层;其中,所述第一方向为由所述N型电极指向所述P型电极的方向;所述P型电极包括:电流注入区以及非电流注入区;在所述第一方向上,所述绝缘层与所述电流注入区相对的位置设置有镂空图案,使得所述P型电极与所述P型欧姆接触层在所述电流注入区处电连接。所述半导体激光器具有低侧向发散角的特性。
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