[中国发明,中国发明授权]CN201510881021.3

一种抑制杂散模态及馈通的MEMS压电谐振器

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摘要
本发明属于射频通信及微机电系统中的元器件技术领域,涉及一种抑制杂散模态及馈通的MEMS压电谐振器,包括差分输入结构、差分输出结构和偶数阶侧向伸缩振动模态MEMS压电谐振器,所述偶数阶侧向伸缩振动模态MEMS压电谐振器包括基底、支撑台、支撑梁、振动块,振动块的振动模态阶数为2N,压电薄膜上设置2N个电极,均分为两组,每组电极中将同相电极互连、形成一对驱动电极及感应电极,两对驱动电极及感应电极对应连接外部互连金属区,形成谐振器两个输入端及输出端,将输入信号经过差分输入结构产生两路差分信号,分别输入谐振器上两个输入端,两个输出端产生两路输出信号,经差分输出结构进行差分处理后输出,能够有效抑制杂散模态及馈通,提升谐振器性能。

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