高功率共面电极泄露波激光器

高功率共面电极泄露波激光器属于光电子技术领域，激光器为凸形结构，其中下宽部分从下到上为：非掺杂衬底和N型包层；在N型包层的中间部分刻蚀上窄部分，上窄部分从下到上依次为：N型波导、有源区、P型波导、P型包层和P型盖层。本发明是内腔电注入的泄露波半导体激光器，衬底不掺杂，光在其中传输具有非常低的损耗，有利于提高激光器的输出功率，即使激射光子能量高于衬底的带隙能量，载流子吸收损耗也很低，应用波长很广，制备工艺简单。介质反射镜将泄漏到衬底的光波反射回有源区，形成反馈，提高增益，抑制光波泄漏到高吸收的焊接电极，降低损耗。采用非掺杂衬底及内腔电流注入，具有损耗小、阈值低的优点，有利于实现高功率激光输出。