[中国发明,中国发明授权]
CN201510274285.2
售
一种纳米压印用膨胀聚合压印胶
著录项
申请号
CN201510274285.2
申请日
20150526
公开号
CN104932197A
公开日
20150923
申请(专利权)人
南方科技大学
当前权利人
南方科技大学
发明人
程鑫
李自平
范增驹
田颜清
罗冰清
陈宇龙
井水淼
余波
地址
518055广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号
国省代码
广东(44)
主分类号
G03F7/004
分类号
G03F7/004
代理机构
北京品源专利代理有限公司
代理人
巩克栋
侯桂丽
技术关键词
摘要
本发明公开了一种纳米压印用膨胀聚合压印胶,其制备所需的原料包括低聚物,还包括膨胀单体。与现有技术相比,纳米压印用膨胀聚合压印胶引入了膨胀单体后,膨胀单体可与低聚物发生共聚,可调节聚合后压印胶的体积变化,从而减少甚至消除压印胶固化后的体积收缩;通过调节膨胀单体的含量,可以得到零固化收缩或体积膨胀的压印胶。本压印胶能有效降低微纳图形中的残余应力,在实现精确的图形复制的同时,降低因残余应力带来的纳米压印脱模过程中图形缺陷的产生。
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一种纳米压印用膨胀聚合压印胶