[中国发明,中国发明授权]
CN201410425842.1
售
一种恒流JFET器件及其制造方法
著录项
申请号
CN201410425842.1
申请日
20140826
公开号
CN104201208A
公开日
20141210
申请(专利权)人
电子科技大学
当前权利人
电子科技大学
发明人
李泽宏
赖亚明
刘建
张建刚
刘永
伍济
地址
611731四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号
国省代码
四川(51)
主分类号
H01L29/808
分类号
H01L29/808
H01L29/423
H01L21/337
代理机构
成都宏顺专利代理事务所(普通合伙)
代理人
李玉兴
技术关键词
摘要
本发明涉及半导体技术,具体的说是涉及一种恒流JFET器件及其制造方法。本发明的恒流JFET器件,其特征在于所述P+表面栅极区5和P+背面栅极区2的结深为不均匀的,从靠近N+漏极区6的一端到靠近N+源极区7的一端P+表面栅极区5的结深逐渐增加,从靠近N+漏极区6的一端到靠近N+源极区7的一端P+背面栅极区2的结深也逐渐增加。本发明的有益效果为,恒流特性较好,能够满足更小恒流精度的需求。本发明尤其适用于恒流JFET器件及其制造。
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一种恒流JFET器件及其制造方法