一种用于提高理论光谱数据库创建速度的方法及装置

本发明公开了一种用于提高理论光谱数据库创建速度的方法及装置，其中，方法包括：获取光学关键尺寸模型在每个波长点处与多个不同划分面积差对应的光谱数据；对所获取的在每个波长点处与多个不同划分面积差对应的光谱数据进行收敛分析，来确定该光学关键尺寸模型满足预定收敛条件的最优划分面积差；根据该光学关键尺寸模型的最优划分面积差计算光谱数据，来建立所述光学关键尺寸模型的理论光谱数据库。本发明在保证计算精度的前提下，减少了OCD模型的划分层数，从而提高理论光谱数据库的创建速度。