一种钙钛矿结构太阳能电池及其制备方法

本发明涉及太阳能电池，特指一种钙钛矿结构太阳能电池及其制备方法。首先是在掺杂氟的SnO2(FTO)导电玻璃先沉积一层氧化钛或氧化锌n型层，然后再沉积一层杂化钙钛矿结构CH3NH3PbI3，接着沉积p型硅薄膜，最后沉积金属电极层；其中，氧化锌或氧化钛层利用原子层沉积方法制备，该方法可以制备出非常致密的氧化物，并且膜厚可以准确控制；钙钛矿结构的CH3NH3PbI3可以通过溶液法或共蒸发方法制备；p型硅薄膜可以通过等离子体化学气相沉积方法制备；金属电极可以通过热蒸发或溅射方法制备，其特征在于利用p型硅薄膜取代spiro-OMeTAD有机p型层，成本低，容易实现大面积生产，能提高电池的稳定性。