[中国发明,中国发明授权]
CN201310378379.5
基于印刷电子技术的薄膜热电偶制备方法
著录项
申请号
CN201310378379.5
申请日
20130827
公开号
CN103474568A
公开日
20131225
申请(专利权)人
中国计量学院
当前权利人
中国计量学院
发明人
杨遂军
叶树亮
于方舟
祁漫宇
地址
310018浙江省杭州市下沙高教园区学源街258号
国省代码
中国,CN,浙江(33)
主分类号
H01L35/34
分类号
H01L35/34
代理机构
杭州求是专利事务所有限公司
代理人
杜军
技术关键词
摘要
本发明公开一种基于印刷电子技术的薄膜热电偶制备方法。其热电偶包括基板、过渡绝缘层、热电偶薄膜电极、绝缘保护层;其制备方法为基板的处理、电极材料的印刷、覆盖绝缘保护层、引线的设置。本发明通过印刷方法在基板上制备热电极,将溶液化的微纳米材料集成到薄膜传感器中,既保留了微纳米材料的微纳米尺度特性,又具有印刷制备技术的大面积、高效、低成本及低污染等特征。运用本发明方法制备的薄膜热电偶工艺过程简单易操作,具有较大的实际应用价值。
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