凹面气体静压导轨

本发明公开了一种凹面气体静压导轨。气体静压导轨的一侧的工作面为平面或凹面，平面或凹面上设有一个或一个以上等径节流孔，与其相配合的气体静压导轨的另一侧的工作面为平面或凹面。采用本发明能使导轨气膜振幅降低至传统气体静压导轨气膜振幅的80％以下。本发明适用于精密气体静压导轨，尤其适用于超精密、纳米气体静压导轨。